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射频电源在不同频率下的校准方法、装置、设备及介质
申请人信息
- 申请人:深圳市广能达半导体科技有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市宝安区新桥街道黄埔社区上南东路128号1号厂房五层
- 发明人: 深圳市广能达半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 射频电源在不同频率下的校准方法、装置、设备及介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410156962.X |
| 申请日 | 2024/2/4 |
| 公告号 | CN117691837A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H02M1/00 |
| 权利人 | 深圳市广能达半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 钟奋忠; 邓顶阳; 张振伟 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区新桥街道黄埔社区上南东路128号1号厂房五层 |
摘要文本
本发明涉及射频电源技术领域，揭露一种射频电源在不同频率下的校准方法，包括：获取输入射频电源的多个预计输出功率以及多个实际输出功率；计算相互对应的预计输出功率和实际输出功率之间的比值，得到多个比例系数；获取多个预计输出功率的射频频率，并构建频率比例函数；获取用户需要输出的目标输出功率，并查询目标输出功率对应的射频频率，得到目标输出频率；通过频率比例函数查询所述目标输出频率对应的比例系数，得到目标比例系数，对射频电源的输出功率进行调整，使得射频电源的输出功率等于目标输出功率。本发明还提出一种射频电源在不同频率下的校准装置、设备及存储介质。本发明可以提升射频电源的稳定性。。来源：百度搜索专利查询网
专利主权项内容
1.一种射频电源在不同频率下的校准方法，其特征在于，所述方法包括：获取输入射频电源的多个预计输出功率，并通过所述射频电源的功率感应器获取所述射频电源的多个实际输出功率，其中，多个所述预计输出功率和多个所述实际输出功率一一对应；计算相互对应的所述预计输出功率和所述实际输出功率之间的比值，得到多个比例系数；获取多个所述预计输出功率的射频频率，并根据多个所述比例系数和多个所述射频频率构建频率比例函数；获取用户需要输出的目标功率，将所述目标功率作为目标输出功率，并查询所述目标输出功率对应的射频频率，得到目标输出频率；通过所述频率比例函数查询所述目标输出频率对应的比例系数，得到目标比例系数，并根据所述目标比例系数对所述射频电源的输出功率进行调整，使得所述射频电源的实际输出功率等于所述目标输出功率。