一种基于介质微球的白光干涉图像超分辨三维重构方法
申请人信息
- 申请人:南京埃米仪器科技有限公司
- 申请人地址:211899 江苏省南京市中国(江苏)自由贸易试验区南京片区研创园江淼路88号腾飞大厦D座1275室
- 发明人: 南京埃米仪器科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于介质微球的白光干涉图像超分辨三维重构方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410208758.8 |
| 申请日 | 2024/2/26 |
| 公告号 | CN117788547A |
| 公开日 | 2024/3/29 |
| IPC主分类号 | G06T7/593 |
| 权利人 | 南京埃米仪器科技有限公司 |
| 发明人 | 杨见飞; 王强; 李敏 |
| 地址 | 江苏省南京市中国(江苏)自由贸易试验区南京片区研创园江淼路88号腾飞大厦D座1275室 |
摘要文本
本发明公开了一种基于介质微球的白光干涉图像超分辨三维重构方法，包括如下步骤：步骤1、待测物体和二氧化硅介质微球的放置；步骤2、开启白光干涉显微镜，获得一个视场下的待测物体的一组白光干涉图像；步骤3、重复步骤2，获得下一个视场下的待测物体的一组白光干涉图像；步骤4，重复步骤3；步骤5、通过ESPCN模型，获得M组高分辨干涉图；步骤6、提取像素值；步骤7、获得一个像素位置扫描高度值Hmax；步骤8、重复步骤7，得到所有像素点的扫描高度值Hmax；步骤9、重构物体三维形貌。优点，本发明方法，通过亚像素超分辨神经网络模型与介质微球白光干涉图像想结合，提高介质微球超分辨成像质量，从而改善“钝化现象”。
专利主权项内容
1.一种基于介质微球的白光干涉图像超分辨三维重构方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、待测物体置于白光干涉显微镜的置物台上，并将二氧化硅介质微球置于待测物体上，使得介质微球位于显微成像物镜的下方；步骤2、开启白光干涉显微镜，获得一个视场下的待测物体的一组白光干涉图像；步骤3、在X向和Y向移动载物台，重复步骤2，获得下一个视场下的待测物体的一组白光干涉图像；步骤4，重复步骤3，获得M个视场下的待测物体的M组白光干涉图像；步骤5、将步骤4中的M组白光干涉图像引入训练好模型参数的亚像素超分辨卷积神经网络模型ESPCN，获得M组高分辨干涉图；步骤6、提取步骤5中M组高分辨干涉图内的像素点的像素值；步骤7、根据步骤6中的得到的一个像素点的所有像素值，拟合出该像素点的白光干涉信号强度曲线；根据白光干涉信号强度曲线，采用希尔伯特变换的包络曲线拟合法，构建该像素点的白光干涉信号的包络曲线，再用质心法求解包络曲线的峰值，得到该像素点的像素值最大时对应的扫描高度值Hmax；步骤8、重复步骤7，获得M组高分辨干涉图内所有像素点的白光干涉信号强度曲线及包络曲线，并得到M组所有像素点的像素值最大时对应的扫描高度值Hmax；步骤9、重构物体三维形貌：首先，进行图像坐标系与世界坐标系的标定，将步骤8中所有像素点(X, Y)转化成空间点(X_reai，Y_reai，Z_reai)，得到M个视场的物体三维坐标集合，即可物体三维形貌。 来自：