一种等离子体腔室arcing的预测方法及装置

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本发明公开了等离子体领域内的一种等离子体腔室arcing的预测方法及装置。该预测方法包括以下步骤：S1 : 获取射频电源的状态信息、腔体的功率信息、所述腔体内的气体信息；S2 : 对所述状态信息、功率信息、气体信息进行预处理，获取参量数据集；S3 : 对所述参量数据集内的参量数据进行融合处理，构建贝叶斯网络，获取各参量的概率分布，验证arcing被检测到的概率，获取概率模型；S4 : 通过概率模型检测各项数据，当arcing产生概率大于设定值时，对所述射频电源进行控制。该预测方法提高arcing被检测的概率，基于arcing发生的模式，可提前对arcing的产生进行感知，从而阻断产生的条件，极大的降低arcing产生的概率，保障设备安全。