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一种晶圆分选导片机
申请人信息
- 申请人:无锡星微科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06
- 发明人: 无锡星微科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆分选导片机 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410190473.6 |
| 申请日 | 2024/2/21 |
| 公告号 | CN117747526A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 无锡星微科技有限公司 |
| 发明人 | 陆敏杰; 王兆昆; 魏礼开 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06 |
摘要文本
本发明公开了一种晶圆分选导片机，涉及晶圆分选技术领域，包括机架，机架配置有上料区、检测区、出料区和机械手，机械手用于将晶圆在上料区、检测区、出料区之间转移；机械手包括夹持件，夹持件配置有吸附组件，吸附组件包括第一基体，第一基体的中部配置有第一抽吸腔，第一抽吸腔内同轴设置滑移件，滑移件能够沿第一抽吸腔轴线往返移动，滑移件布设有第一气孔，第一气孔与第一抽吸腔连通。本发明的目的在于提供一种测量精度高、稳定性高且工作时间长的一种晶圆分选导片机。
专利主权项内容
1.一种晶圆分选导片机，包括机架(1)，所述机架(1)配置有上料区(11)、检测区(12)、出料区(13)和机械手(14)，所述机械手(14)用于将晶圆在所述上料区(11)、检测区(12)、出料区(13)之间转移；其特征在于，所述机械手(14)包括夹持件(2)，所述夹持件(2)配置有吸附组件(3)，所述吸附组件(3)包括第一基体(31)，所述第一基体(31)的中部配置有第一抽吸腔(32)，所述第一抽吸腔(32)内同轴设置滑移件(33)，所述滑移件(33)能够沿第一抽吸腔(32)轴线往返移动，所述滑移件(33)布设有第一气孔(331)，所述第一气孔(331)与所述第一抽吸腔(32)连通。 该数据由<>整理