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一种送片机械手及具有该机械手的晶圆传输系统
申请人信息
- 申请人:无锡星微科技有限公司
- 申请人地址:214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06
- 发明人: 无锡星微科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种送片机械手及具有该机械手的晶圆传输系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410186037.1 |
| 申请日 | 2024/2/20 |
| 公告号 | CN117766446A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 无锡星微科技有限公司 |
| 发明人 | 陆敏杰; 王兆昆; 贺慧平 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号F11栋二楼创新孵化器A06 |
摘要文本
发明公开了一种送片机械手及具有该机械手的晶圆传输系统，涉及半导体集成电路芯片制造的设备领域，包括送片机械手包括基座，基座顶端设有不少于一个的机械臂组件，机械臂组件端部连接有放置基板，放置基板与机械臂组件连接处设有两个相对设置的第一限位块，放置基板远离机械臂组件一端设有不少于一个的第二限位块；两个第一限位块向背侧均设有滚动轴，第一限位块内设有第一电机，第一电机输出端与滚动轴连接，滚动轴周向延伸有条状体。本发明的目的在于提供一种精度高、移动速度快且具有防止晶圆产生曲绕的一种送片机械手及具有该机械手的晶圆传输系统。 来自：马 克 团 队
专利主权项内容
1.一种送片机械手，其特征在于，所述送片机械手包括基座(1)，所述基座(1)顶端设有不少于一个的机械臂组件(2)，所述机械臂组件(2)端部连接有放置基板(3)，所述放置基板(3)与机械臂组件(2)连接处设有两个相对布设的第一限位块(31)，所述放置基板(3)远离机械臂组件(2)一端设有不少于一个的第二限位块(32)；两个所述第一限位块(31)向背侧均设有滚动轴(33)，所述第一限位块(31)内设有第一电机，所述第一电机输出端与滚动轴(33)连接，所述滚动轴(33)周向延伸有条状体(34)。