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一种用于固晶机的底座输送系统及其工作方法
申请人信息
- 申请人:苏州锐杰微科技集团有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市高新区金山东路78号1幢Z101室
- 发明人: 苏州锐杰微科技集团有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于固晶机的底座输送系统及其工作方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410215411.6 |
| 申请日 | 2024/2/27 |
| 公告号 | CN117832141A |
| 公开日 | 2024/4/5 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 苏州锐杰微科技集团有限公司 |
| 发明人 | 何东林; 解儒翰; 肖建平; 周德波 |
| 地址 | 江苏省苏州市高新区金山东路78号1幢Z101室 |
摘要文本
本发明涉及芯片加工领域，具体涉及一种用于固晶机的底座输送系统及其工作方法。本发明提供了一种用于固晶机的底座输送系统，包括：输送机构，输送机构包括平行设置的两输送导轨；任一输送导轨的内侧设置有引导机构，另一个输送导轨的内侧设置有升降板。引导机构和升降板一次下降至与输送导轨接触时，底座与输送导轨的第一放置位抵接；引导机构和升降板二次下降至与输送导轨接触时，底座与输送导轨的第二放置位抵接。通过分体设置的引导机构，使得顶升板每次抬升底座时，均能够切换伸长状态和收缩状态，进而使得前后两个底座放回到输送导轨上落在第一放置位和第二放置位，从而减小输送轨道同一位置的磨损程度，进而提高输送轨道的使用寿命。
专利主权项内容
1.一种用于固晶机的底座输送系统，其特征在于，包括：输送机构(1)，所述输送机构(1)包括平行设置的两输送导轨(11)；任一所述输送导轨(11)的内侧设置有引导机构(2)，所述引导机构(2)的活动端朝向底座设置，另一个所述输送导轨(11)的内侧设置有升降板(13)，所述升降板(13)与所述引导机构(2)相对应；所述引导机构(2)的活动端可沿长度方向伸缩；其中底座输送至引导机构(2)的正上方时，所述引导机构(2)和所述升降板(13)同步上升，以顶推底座上升并与所述输送导轨(11)脱离，以使机械手从底座上夹取芯片；所述引导机构(2)和所述升降板(13)一次下降至与所述输送导轨(11)接触时，底座向所述升降板(13)一侧倾斜，所述引导机构(2)伸长，以使底座与所述输送导轨(11)的第一放置位抵接；所述引导机构(2)和所述升降板(13)二次下降至与所述输送导轨(11)接触时，底座向所述升降板(13)一侧倾斜，所述引导机构(2)收缩，以使底座与所述输送导轨(11)的第二放置位抵接。