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基于界面的单晶炉控制方法、系统、装置、设备及介质
申请人信息
- 申请人:浙江求是创芯半导体设备有限公司; 浙江晶盛机电股份有限公司
- 申请人地址:311103 浙江省杭州市临平区临平街道经济技术开发区顺达路500号1幢103室
- 发明人: 浙江求是创芯半导体设备有限公司; 浙江晶盛机电股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于界面的单晶炉控制方法、系统、装置、设备及介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410166780.0 |
| 申请日 | 2024/2/6 |
| 公告号 | CN117707099A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | G05B19/418 |
| 权利人 | 浙江求是创芯半导体设备有限公司; 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 发明人 | 曹建伟; 朱凌锋; 芮志仲; 陈佳; 沈文杰 |
| 地址 | 浙江省杭州市临平区临平街道经济技术开发区顺达路500号1幢103室; 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号 |
摘要文本
本发明公开了一种基于界面的单晶炉控制方法、系统、装置、设备及介质。响应于变量配置操作，对各工艺控制流程分别配置对应的变量；响应于脚本编辑操作，基于所述变量生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本；响应于数据通信操作，接收单晶炉系统发送的工艺参数；响应于脚本运行操作，将所述工艺参数传入各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本进行运行，获得各所述工艺控制流程对应的控制参数；将所述控制参数发送至所述单晶炉系统，使得所述单晶炉系统基于所述控制参数对单晶炉进行控制。不仅可以提高单晶炉控制的效率及降低单晶炉控制的成本及难度，且可以进一步提高单晶炉生成产品的质量。
专利主权项内容
1.一种基于界面的单晶炉控制方法，其特征在于，包括：响应于变量配置操作，对各工艺控制流程分别配置对应的变量；其中，所述变量包括自定义变量和系统变量；系统变量包括工艺变量和控制变量；响应于脚本编辑操作，基于所述变量生成各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本；响应于数据通信操作，接收单晶炉系统发送的工艺参数；其中，所述工艺参数与所述工艺变量一一对应；所述单晶炉系统包括单晶炉内部软件系统和/或PLC系统；响应于脚本运行操作，将所述工艺参数传入各工艺控制流程分别对应的自定义控制脚本进行运行，获得各所述工艺控制流程对应的控制参数；其中，所述控制参数与所述控制变量一一对应；将所述控制参数发送至所述单晶炉系统，使得所述单晶炉系统基于所述控制参数对单晶炉进行控制。。