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一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备
申请人信息
- 申请人:浙江大学
- 申请人地址:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
- 发明人: 浙江大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410122778.3 |
| 申请日 | 2024/1/30 |
| 公告号 | CN117660944A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | C23C16/52 |
| 权利人 | 浙江大学 |
| 发明人 | 项荣; 郑一格; 王凌峰; 马亦诚 |
| 地址 | 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号 |
摘要文本
本发明公开了一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备，属于原子层沉积技术领域。该装备集成了压力系统、温度系统和流量系统，实现了化学气相沉积过程的全程自动化控制，在压力控制上，引入阀门经验开启角度，能够快速的接近目标压力，大大提高响应时间；进一步设计了非连续角度控制算法，针对化学气相沉积过程的大压力控制，也能够实现较高的控制精度。进一步的，该装备还设置有原位表征系统，通过相应的装置实现了化学沉积过程中样品沉积情况的实时检测。进一步的，本申请设置了炉膛移动轨道，可以在完成生产过程等待散热的环节移动炉膛将加热区彻底暴露在空气中，达到最大化散热效率，提升了整体生产效率。
专利主权项内容
百度马 克 数据网 1.一种可实现原子精度制造的化学气相沉积自动化装备，其特征在于，所述装备包括压力系统、温度系统、流量系统和控制系统；其中所述压力系统、温度系统、流量系统均与控制系统相连；所述控制系统根据所述压力系统、温度系统和流量系统的实时反馈数据实现对于所述装备的全自动化控制；所述压力系统包括阀门、步进电机和设置于CVD设备的石英管内的压力传感器，所述压力传感器用于实时采集石英管内的压力值，以便所述控制系统根据压力值实时调整抽气管路的阀门开启度以达到目标压力；所述阀门和抽真空管路相连，所述步进电机用于带动阀门以一定的步进角度开启或关闭；所述控制系统实时调整抽气管路的阀门开启度时根据压力值和预先设定的压力阈值的大小关系采用周期性非连续角度控制算法或者连续角度控制算法进行压力自动控制。