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一种蒸镀装置
申请人信息
- 申请人:成都顿威新型金属材料有限公司
- 申请人地址:610000 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区龙湖路19号
- 发明人: 成都顿威新型金属材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种蒸镀装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420860207.5 |
| 申请日 | 2024/4/24 |
| 公告号 | CN222119365U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C14/24 |
| 权利人 | 成都顿威新型金属材料有限公司 |
| 发明人 | 秦蕾; 王潇 |
| 地址 | 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区龙湖路19号 |
摘要文本
本实用新型公开了一种蒸镀装置，涉及真空蒸镀设备领域，包括蒸镀装置壳体，蒸镀装置壳体的内侧底部安置有两个用于盛放蒸镀材料的坩埚，两个坩埚之间设置有凹弧顶托块，凹弧顶托块与蒸镀装置壳体为固定连接，蒸镀装置壳体的上部呈圆弧顶状，蒸镀装置壳体的内部设置有分隔组件，本实用新型通过分隔组件将蒸镀装置壳体的内部分隔为两个独立的蒸镀腔室，再配合悬挂单元和驱动单元的作用，在两个独立蒸镀腔室中的基板进行一面蒸镀后，可以直接将悬挂单元内的基板在两个独立蒸镀腔室之间进行位置更换，即能对基板的另一面进行蒸镀，由于两个独立蒸镀腔室中坩埚内的镀料不同，就能够实现在同一次蒸镀工序中，对基板的双镜面进行不同异材的蒸镀处理。
专利主权项内容
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀装置壳体(1)，所述蒸镀装置壳体(1)的内侧底部安置有两个用于盛放蒸镀材料的坩埚(5)，两个所述坩埚(5)之间设置有凹弧顶托块(4)，且所述凹弧顶托块(4)与所述蒸镀装置壳体(1)为固定连接，所述蒸镀装置壳体(1)的上部呈圆弧顶状，且所述蒸镀装置壳体(1)的内部设置有分隔组件，所述分隔组件用于将两个所述坩埚(5)的蒸发材料分隔。