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蒸发镀膜设备

申请号: CN202322777174.6
申请人: 安迈特科技(北京)有限公司
更新日期: 2026-03-24

专利详细信息

项目 内容
专利名称 蒸发镀膜设备
专利类型 实用新型
申请号 CN202322777174.6
申请日 2023/10/16
公告号 CN222119378U
公开日 2024/12/6
IPC主分类号 C23C14/56
权利人 安迈特科技(北京)有限公司
发明人 孙欣森; 张健; 王超; 康远浩; 何全友
地址 北京市房山区弘安路87号院5号楼2层222室

摘要文本

本公开提供了一种蒸发镀膜设备,包括:冷却辊,在所述冷却辊表面喷涂陶瓷涂层,所述陶瓷涂层包括绝缘性材料和导电性材料的混合物;导向辊,位于所述冷却辊的上游或下游,所述导向辊施加与所述冷却辊相反的电压;蒸镀装置,用于向承载于所述冷却辊的待镀膜基材蒸镀导电层;其中,响应于所述导电层蒸镀至所述待镀膜基材,所述导电层在库仑力作用下紧密吸附于所述冷却辊。

专利主权项内容

1.一种蒸发镀膜设备,其特征在于,包括:
冷却辊,在所述冷却辊表面喷涂陶瓷涂层,所述陶瓷涂层包括绝缘性材料和导电性材料的混合物;
导向辊,位于所述冷却辊的上游或下游,所述导向辊施加与所述冷却辊相反的电压;
蒸镀装置,用于向承载于所述冷却辊的待镀膜基材蒸镀导电层;
其中,响应于所述导电层蒸镀至所述待镀膜基材,所述导电层在库仑力作用下紧密吸附于所述冷却辊。