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一种MOCVD用加热丝
申请人信息
- 申请人:江苏实为半导体科技有限公司
- 申请人地址:221000 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路海归人才创业园南区B2-101
- 发明人: 江苏实为半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种MOCVD用加热丝 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323373609.7 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN222119379U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C16/18 |
| 权利人 | 江苏实为半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 张金东; 黎静; 沈亚楠 |
| 地址 | 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路海归人才创业园南区B2-101 |
摘要文本
本实用新型揭示了一种MOCVD用加热丝，包括电极脚，所述电极脚设置有一对，一对所述电极脚上安装有内圈加热丝，所述内圈加热丝的两端分别位于一对所述电极脚的顶部，所述内圈加热丝采用平板型加热片结构，使得内圈加热丝传热效率高，从而降低内圈加热丝的温度，提升内圈加热丝使用的寿命，所述内圈加热丝的两端上均设置有压块，所述压块内螺纹连接有固定螺丝，所述固定螺丝的下端依次贯穿过压块、内圈加热丝和电极脚并置于电极脚内，所述电极脚的下方设置有多个陶瓷支撑底座。本实用新型利用平板型内圈通过竖直方向的热辐射加热石墨盘中心部分，保证石墨盘的整体的均温性，避免常用形式长时间使用后出现断裂、塌陷的不良现象。
专利主权项内容
1.一种MOCVD用加热丝，包括电极脚，其特征在于，所述电极脚设置有一对，一对所述电极脚上安装有内圈加热丝，所述内圈加热丝的两端分别位于一对所述电极脚的顶部，所述内圈加热丝采用平板型加热片结构，使得内圈加热丝传热效率高，从而降低内圈加热丝的温度，提升内圈加热丝使用的寿命，所述内圈加热丝的两端上均设置有压块，所述压块内螺纹连接有固定螺丝，所述固定螺丝的下端依次贯穿过压块、内圈加热丝和电极脚并置于电极脚内，所述电极脚的下方设置有多个陶瓷支撑底座，多个所述陶瓷支撑底座上均安装有支撑杆，所述支撑杆的上端抵接在电极脚的下侧壁上。