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快速传出掉样的MBE腔体结构及分子束外延生长系统
申请人信息
- 申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址:215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
- 发明人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 快速传出掉样的MBE腔体结构及分子束外延生长系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323386011.1 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN222119380U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C16/44 |
| 权利人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 发明人 | 张莹莹; 陈爱喜; 李坊森; 冀连连; 龚忠苗 |
| 地址 | 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号 |
摘要文本
（） 本实用新型公开了一种快速传出掉样的MBE腔体结构及分子束外延生长系统。MBE腔体结构包括：MBE生长腔和快速传样腔，MBE生长腔与快速传样腔相连通，MBE生长腔与快速传样腔之间具有可供掉落的样品通过的连接通道，快速传样腔上设置有用于取出样品的取样口；第一开关机构，设置在MBE生长腔和快速传样腔之间，并用于打开、关闭连接通道；第二开关机构，设置在快速传样腔上，并用于打开、关闭取样口；抽真空机构，与快速传样腔连接，并用于将快速传样腔形成真空状态；破真空机构，与快速传样腔连接，并用于破坏快速传样腔内的真空状态。本实用新型在不需打开MBE腔体的前提下即快速取出掉落样品，极大地节约了人力物力和时间。
专利主权项内容
1.一种快速传出掉样的MBE腔体结构，其特征在于，包括：
MBE生长腔和快速传样腔，所述MBE生长腔与所述快速传样腔相连通，所述MBE生长腔与所述快速传样腔之间具有可供掉落的样品通过的连接通道，所述快速传样腔上设置有用于取出样品的取样口；
第一开关机构，设置在所述MBE生长腔和所述快速传样腔之间，并用于打开、关闭所述连接通道；
第二开关机构，设置在所述快速传样腔上，并用于打开、关闭所述取样口；
抽真空机构，与所述快速传样腔连接，并用于将所述快速传样腔形成真空状态；
破真空机构，与所述快速传样腔连接，并用于破坏所述快速传样腔内的真空状态。