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一种隔离载板框架的PECVD放电装置
申请人信息
- 申请人:捷造科技(宁波)有限公司
- 申请人地址:315615 浙江省宁波市宁海县桃源街道南岙路12号南岙高新产业园10号楼
- 发明人: 捷造科技(宁波)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种隔离载板框架的PECVD放电装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420512469.2 |
| 申请日 | 2024/3/18 |
| 公告号 | CN222119385U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C16/458 |
| 权利人 | 捷造科技(宁波)有限公司 |
| 发明人 | 张迎春; 赵永飞; 白仁华 |
| 地址 | 浙江省宁波市宁海县桃源街道南岙路12号南岙高新产业园10号楼 |
摘要文本
本实用新型公开了一种隔离载板框架的PECVD放电装置，包括：喷淋电极与地电极，所述喷淋电极与地电极之间构成放电区，镀膜工件和载板放置在所述放电区，所述载板之上放置镀膜工件，还包括载板框架，所述载板框架为所述镀膜工件和载板移动到指定位置后所述载板大于镀膜工件的区域，在所述载板框架上设置通过升降系统进行至少插入到所述载板框架内侧的绝缘机构。本实用新型的优点是：结构简单，通过将载板框架隔离出放电区，减小因载板材料、加工缺陷等各种原因对工件镀膜均匀性的影响。
专利主权项内容
1.一种隔离载板框架的PECVD放电装置，其特征在于，包括：喷淋电极与地电极，所述喷淋电极与地电极之间构成放电区，镀膜工件和载板放置在所述放电区，所述载板之上放置镀膜工件，还包括载板框架，所述载板框架为所述镀膜工件和载板移动到指定位置后所述载板大于镀膜工件的区域，在所述载板框架上设置通过升降系统进行至少插入到所述载板框架内侧的绝缘机构。 该数据由<>整理