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推舟设备和原子层沉积设备
申请人信息
- 申请人:株洲三一硅能技术有限公司
- 申请人地址:412005 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道清霞路与老工业路交汇处西南侧南1跨厂房
- 发明人: 株洲三一硅能技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 推舟设备和原子层沉积设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323424135.4 |
| 申请日 | 2023/12/14 |
| 公告号 | CN222119382U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C16/455 |
| 权利人 | 株洲三一硅能技术有限公司 |
| 发明人 | 郑磊; 姜建雨; 陈子豪 |
| 地址 | 湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道清霞路与老工业路交汇处西南侧南1跨厂房 |
摘要文本
本申请涉及一种推舟设备和原子层沉积设备，涉及薄膜沉积技术领域，该推舟设备包括底座、驱动件、托盘、支撑装置以及缓冲装置，驱动件设于底座上；托盘的一端与驱动件连接；支撑装置与底座活动连接，支撑装置用于支撑托盘远离驱动件的一端；缓冲装置与支撑装置连接，缓冲装置位于底座的下方；缓冲装置用于跟随支撑装置移动，并在支撑装置接触托盘前，抵接底座的底部，以减缓支撑装置朝托盘移动的速度。该推舟设备和原子层沉积设备可以减缓支撑装置对托盘的冲击。
专利主权项内容
1.一种推舟设备，其特征在于，包括：
底座(110)；
驱动件(120)，设于所述底座(110)上；
托盘(130)，所述托盘(130)的一端与所述驱动件(120)连接；
支撑装置(140)，与所述底座(110)活动连接，所述支撑装置(140)用于支撑所述托盘(130)远离所述驱动件(120)的一端；
缓冲装置(150)，与所述支撑装置(140)连接，所述缓冲装置(150)位于所述底座(110)的下方；所述缓冲装置(150)用于跟随所述支撑装置(140)移动，并在所述支撑装置(140)接触所述托盘(130)前，抵接所述底座(110)的底部，以减缓所述支撑装置(140)朝所述托盘(130)移动的速度。