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一种隔离PECVD放电区的装置
申请人信息
- 申请人:捷造科技(宁波)有限公司
- 申请人地址:315615 浙江省宁波市宁海县桃源街道南岙路12号南岙高新产业园10号楼
- 发明人: 捷造科技(宁波)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种隔离PECVD放电区的装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420470538.8 |
| 申请日 | 2024/3/12 |
| 公告号 | CN222119383U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C16/455 |
| 权利人 | 捷造科技(宁波)有限公司 |
| 发明人 | 张迎春; 赵永飞; 白仁华 |
| 地址 | 浙江省宁波市宁海县桃源街道南岙路12号南岙高新产业园10号楼 |
摘要文本
本实用新型公开了一种隔离PECVD放电区的装置，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。通过在装置内部的连杆机构形成直线移动机构，将地电极、喷淋电极、工件和载板等组件连接起来，形成一个封闭的放电区。本实用新型的优点是：结构简单，所占空间小，实用型较强，而且能有效的实现放电区的密封。
专利主权项内容
1.一种隔离PECVD放电区的装置，其特征在于，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。