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石墨烯制备载具及石墨烯制备装置
申请人信息
- 申请人:北京石墨烯研究院; 北京石墨烯研究院有限公司
- 申请人地址:100095 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼
- 发明人: 北京石墨烯研究院; 北京石墨烯研究院有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 石墨烯制备载具及石墨烯制备装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420784036.2 |
| 申请日 | 2024/4/15 |
| 公告号 | CN222119386U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C16/458 |
| 权利人 | 北京石墨烯研究院; 北京石墨烯研究院有限公司 |
| 发明人 | 钱伟涛; 马正斌; 李宁; 孙建波; 王思雨 |
| 地址 | 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼; 北京市海淀区翠湖南环路13号院4号楼1至6层101 |
摘要文本
本实用新型提供一种石墨烯制备载具及石墨烯制备装置，涉及石墨烯生产制造技术领域。该石墨烯制备载具包括底座、立柱和固定件，所述底座设置有第一固定结构；立柱垂直设置于所述底座；固定件连接于所述立柱远离所述底座的一侧并与所述底座平行正对设置，所述底座、所述立柱和所述固定件之间形成用于容纳生长衬底的空间，所述固定件设置有第二固定结构，所述第一固定结构用于固定生长衬底沿所述底座高度方向的第一端，所述第二固定结构用于固定所述生长衬底沿所述底座高度方向的第二端，实现生长衬底沿底座高度方向的第一端和第二端的固定，生长衬底可呈竖直状态，有效减轻或避免石墨烯薄膜因褶皱变形，提高石墨烯生长均匀性和成品合格率。
专利主权项内容
1.一种石墨烯制备载具，其特征在于，包括：
底座，所述底座设置有第一固定结构；
立柱，垂直设置于所述底座；
固定件，连接于所述立柱远离所述底座的一侧并与所述底座平行正对设置，所述底座、所述立柱和所述固定件之间形成用于容纳生长衬底的空间，所述固定件设置有第二固定结构，所述第一固定结构用于固定生长衬底沿所述底座高度方向的第一端，所述第二固定结构用于固定所述生长衬底沿所述底座高度方向的第二端。