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加热器装置以及沉积设备
申请人信息
- 申请人:江苏首芯半导体科技有限公司
- 申请人地址:214400 江苏省无锡市江阴市东盛路8号
- 发明人: 江苏首芯半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 加热器装置以及沉积设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420841634.9 |
| 申请日 | 2024/4/22 |
| 公告号 | CN222119387U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C23C16/46 |
| 权利人 | 江苏首芯半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 李继刚; 周纬; 朱顺利; 张俊 |
| 地址 | 江苏省无锡市江阴市东盛路8号 |
摘要文本
本申请实施例提供了一种加热器装置以及沉积设备，加热器装置包括：加热器，所述加热器具有承载基片的承载面；基座，所述基座与所述加热器的背对所述承载面的一侧相连接；调节组件，所述调节组件与所述基座相连接，以带动所述加热器沿平行于所述承载面的方向移动。本申请实施例至少有利于提升加热器装置的性能。
专利主权项内容
1.一种加热器装置，其特征在于，包括：
加热器，所述加热器具有承载基片的承载面；
基座，所述基座与所述加热器的背对所述承载面的一侧相连接；
调节组件，所述调节组件与所述基座相连接，以带动所述加热器沿平行于所述承载面的方向移动。