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一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备
申请人信息
- 申请人:扬州申威光电器材有限公司
- 申请人地址:225653 江苏省扬州市高邮市天山镇工业园区
- 发明人: 扬州申威光电器材有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323388443.6 |
| 申请日 | 2023/12/13 |
| 公告号 | CN222119466U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C30B15/00 |
| 权利人 | 扬州申威光电器材有限公司 |
| 发明人 | 陈志谋 |
| 地址 | 江苏省扬州市高邮市天山镇工业园区 |
摘要文本
本实用新型公开了一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，涉及单晶硅棒生产技术领域，包括底座与加热仓，所述底座的顶端一侧固定连接有储水箱，所述储水箱的顶端固定连接有输送组件，所述底座的顶端一侧固定连接有冷却器，所述储水箱顶端固定连接有电阀门，所述电阀门的顶端固定连接有进水管，所述进水管远离储水箱的一侧固定连接有螺纹冷水管，所述加热仓的顶端固定连接有副炉，所述副炉的底端固定连接有支撑座，所述支撑座的顶端固定连接有冷却套。本实用新型中，通过逐渐降低温度，可以使硅棒结晶更加有序和均匀，这种逐步冷却有助于减少晶体内部的应力和缺陷，且控制冷却套内的湿度，避免湿度过高对设备和工艺产生负面影响。
专利主权项内容
1.一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备，包括底座(1)与加热仓(2)，其特征在于：所述底座(1)的顶端一侧固定连接有储水箱(3)，所述储水箱(3)的顶端固定连接有输送组件，所述底座(1)的顶端一侧固定连接有冷却器(5)，所述储水箱(3)顶端固定连接有电阀门(7)，所述电阀门(7)的顶端固定连接有进水管(8)，所述进水管(8)远离储水箱(3)的一侧固定连接有螺纹冷水管(9)，所述加热仓(2)的顶端固定连接有副炉(10)，所述副炉(10)的底端固定连接有支撑座(11)，所述支撑座(11)的顶端固定连接有冷却套(12)，所述冷却套(12)的外部固定连接有温度监视器(13)。