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一种MPCVD籽晶摆放装置
申请人信息
- 申请人:碳方程半导体设备制造(山西)有限公司
- 申请人地址:030000 山西省太原市迎泽区郝庄镇南内环东街156-158号太原智慧产业园C座一层101-1号
- 发明人: 碳方程半导体设备制造(山西)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种MPCVD籽晶摆放装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420843587.1 |
| 申请日 | 2024/4/22 |
| 公告号 | CN222119468U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C30B25/00 |
| 权利人 | 碳方程半导体设备制造(山西)有限公司 |
| 发明人 | 赵惠文; 赵俊芳; 乔耀明; 邱永强 |
| 地址 | 山西省太原市迎泽区郝庄镇南内环东街156-158号太原智慧产业园C座一层101-1号 |
摘要文本
本实用新型提供一种MPCVD籽晶摆放装置，涉及籽晶摆放领域。该MPCVD籽晶摆放装置，包括支撑板，所述支撑板上部开设有圆孔一，圆孔一内设置有可升降的样品台，所述支撑板上部滑动连接有夹爪安装架，所述夹爪安装架上部开设有贯穿式的圆孔二，圆孔二内设置有钼盘，所述夹爪安装架位于圆孔二的两侧内壁上分别设置有固定夹爪和活动夹爪。该MPCVD籽晶摆放装置，增加了籽晶定位盘，只需要将籽晶放置到定位盘的单元格里面即可，无需多次的调整，籽晶定位设有多种型号，对应不同尺寸的籽晶，可以摆放不同尺寸的籽晶，使用该装置以后，可以很快将籽晶精确放置到钼盘上面，保证摆放质量的同时，大大地节省了时间，同时还能降低人工的操作难度。。来自
专利主权项内容
1.一种MPCVD籽晶摆放装置，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)上部开设有圆孔一，圆孔一内设置有可升降的样品台(2)，所述支撑板(1)上部滑动连接有夹爪安装架(5)，所述夹爪安装架(5)上部开设有贯穿式的圆孔二，圆孔二内设置有钼盘(3)，所述夹爪安装架(5)位于圆孔二的两侧内壁上分别设置有固定夹爪(7)和活动夹爪(8)，所述固定夹爪(7)和活动夹爪(8)之间夹持有钼盘(3)，所述钼盘(3)上部贴合有籽晶定位盘(4)。