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分流进气装置和外延工艺设备
申请人信息
- 申请人:浙江求是半导体设备有限公司
- 申请人地址:311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室
- 发明人: 浙江求是半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 分流进气装置和外延工艺设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323321168.6 |
| 申请日 | 2023/12/6 |
| 公告号 | CN222119473U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C30B29/36 |
| 权利人 | 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 傅林坚; 周建灿; 吴正闪; 刘毅; 曹建伟; 朱亮 |
| 地址 | 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室 |
摘要文本
。本实用新型公开了一种分流进气装置和应用该分流进气装置的外延工艺设备，所述分流进气装置包括进气罩、分流罩和分流板，所述进气罩内设有多个进气腔；所述分流罩内设有多个分流道，多个所述分流道沿所述分流罩的宽度方向间隔布置，且多个所述分流道与多个所述进气腔一一对应地布置；所述分流板设于所述进气罩和所述分流罩之间，所述分流板设有多个分流孔，多个所述分流孔沿所述分流罩的宽度方向分为多个分流孔组，多个所述分流孔组与多个所述分流道一一对应地布置，每个所述分流孔组中的所述分流孔的数量与该分流孔组对应的所述分流道的横截面积呈正相关。本实用新型实施例的分流进气装置具有供气均匀的优点。
专利主权项内容
1.一种分流进气装置，其特征在于，包括：
进气罩，所述进气罩内设有多个进气腔；
分流罩，所述分流罩内设有多个分流道，多个所述分流道沿所述分流罩的宽度方向间隔布置，且多个所述分流道与多个所述进气腔一一对应地布置；
分流板，所述分流板设于所述进气罩和所述分流罩之间，所述分流板设有多个分流孔，多个所述分流孔沿所述分流罩的宽度方向分为多个分流孔组，多个所述分流孔组与多个所述分流道一一对应地布置以连通任意一个所述分流道和与其对应的所述进气腔，每个所述分流孔组中的所述分流孔的数量与该分流孔组对应的所述分流道的横截面积呈正相关。