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一种氮化镓外延片生长用基座
申请人信息
- 申请人:南京集芯光电技术研究院有限公司
- 申请人地址:210000 江苏省南京市经济技术开发区恒园路龙港科技园B2栋1101室
- 发明人: 南京集芯光电技术研究院有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种氮化镓外延片生长用基座 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420847512.0 |
| 申请日 | 2024/4/23 |
| 公告号 | CN222119471U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | C30B25/12 |
| 权利人 | 南京集芯光电技术研究院有限公司 |
| 发明人 | 谢自力 |
| 地址 | 江苏省南京市经济技术开发区恒园路龙港科技园B2栋1101室 |
摘要文本
本实用新型提供一种氮化镓外延片生长用基座，包括基座盘，所述基座盘顶部均匀开设有多个凹槽，所述凹槽内侧活动安装有限位筒，所述限位筒内部固定连接有吸附盘，所述吸附盘上表面吸附有氮化镓外延片；所述基座盘顶部开设有安装槽，所述安装槽内侧设有自动取放机构，所述自动取放机构包括多个套环，多个所述套环相对应设于限位筒外侧壁上。本实用新型设计合理，通过安装槽、气缸、执行杆、连接杆、套环和橡胶圈的设置配合，能够自动实现对多个限位筒的取放功能，取放更加的方便快捷，提高了氮化镓外延片的取放效率。
专利主权项内容
1.一种氮化镓外延片生长用基座，其特征在于：包括基座盘(1)，所述基座盘(1)顶部均匀开设有多个凹槽(101)，所述凹槽(101)内侧活动安装有限位筒(2)，所述限位筒(2)内部固定连接有吸附盘(3)，所述吸附盘(3)上表面吸附有氮化镓外延片；所述基座盘(1)顶部开设有安装槽(102)，所述安装槽(102)内侧设有自动取放机构，所述自动取放机构包括多个套环(4)，多个所述套环(4)相对应设于限位筒(2)外侧壁上。