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一种等离子体射频线圈
申请人信息
- 申请人:苏州旌晖创半导体新材料有限公司
- 申请人地址:215300 江苏省苏州市昆山开发区春旭路168号帝宝金融大厦2105-23室
- 发明人: 苏州旌晖创半导体新材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种等离子体射频线圈 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420590669.X |
| 申请日 | 2024/3/26 |
| 公告号 | CN222106595U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01J37/32 |
| 权利人 | 苏州旌晖创半导体新材料有限公司 |
| 发明人 | 吴天如 |
| 地址 | 江苏省苏州市昆山开发区春旭路168号帝宝金融大厦2105-23室 |
摘要文本
本实用新型公开了一种等离子体射频线圈，涉及等离子体射频线圈技术领域，包括射频线圈组件和升降组件，所述射频线圈组件的外部侧边架设有轨道架组，所述升降组件滑动安装于轨道架组的表面，而且射频线圈组件的正下方安装有设备台组。该等离子体射频线圈，通过升降组件的使用，可以同时连接射频线圈组件与喷淋组件，使得升降组件在沿着导轨在垂直方向上进行上下移动时可以同时带动射频线圈组件和喷淋组件进行同步移动，以便于在对工件进行迅速加热后，将水喷淋在工件表面对其进行淬火加工，同时设备台组可以在一定范围内对不同的工件提供夹持固定，并带动其进行转动，以确保射频线圈组件可以对工件进行全方位的加热，以便于淬火的均匀性。
专利主权项内容
1.一种等离子体射频线圈，包括射频线圈组件(1)和升降组件(3)，其特征在于：所述射频线圈组件(1)的外部侧边架设有轨道架组(2)，所述升降组件(3)滑动安装于轨道架组(2)的表面，且升降组件(3)远离射频线圈组件(1)的一侧连接安装有喷淋组件(4)，而且射频线圈组件(1)的正下方安装有设备台组(5)，所述升降组件(3)包括升降滑块(301)、固定架(302)和双轴调节架(303)，所述升降滑块(301)的一侧安装有固定架(302)，且升降滑块(301)远离固定架(302)的一侧安装有双轴调节架(303)。