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一种扩散炉传送手臂上晶圆状态检测的装置
申请人信息
- 申请人:杭州帕兹电子有限公司
- 申请人地址:311200 浙江省杭州市萧山区萧山经济技术开发区红垦农场红泰六路489号27幢1号
- 发明人: 杭州帕兹电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种扩散炉传送手臂上晶圆状态检测的装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420009653.5 |
| 申请日 | 2024/1/3 |
| 公告号 | CN222106598U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/66 |
| 权利人 | 杭州帕兹电子有限公司 |
| 发明人 | 魏宏雨; 赵建江; 黄友林; 杨智亮; 黄杰 |
| 地址 | 浙江省杭州市萧山区萧山经济技术开发区红垦农场红泰六路489号27幢1号 |
摘要文本
本实用新型涉及晶圆状态检测装置技术领域，公开了一种扩散炉传送手臂上晶圆状态检测的装置。本实用新型包括：履带传动机，所述履带传动机的一侧固定连接有传送手臂，所述传送手臂上固定安装有晶圆检测器，所述履带传动机的传送带上固定连接有设备框体，所述设备框体的顶部固定连接有第一电机，所述设备框体内转动安装有转动柱，所述第一电机与转动柱传动连接，所述转动柱上固定连接有连接套环。本实用新型使得该设备在对晶圆进行检测时，可以先将其夹持固定后，还能进行多方位与多角度的检测，使得晶圆被检测的更加全面，不会出现漏检或有方位检测不到的情况，侧面提升晶圆成品的质量。 马-克-数据
专利主权项内容
1.一种扩散炉传送手臂上晶圆状态检测的装置，包括：履带传动机，所述履带传动机的一侧固定连接有传送手臂，所述传送手臂上固定安装有晶圆检测器，其特征在于，所述履带传动机的传送带上固定连接有设备框体，所述设备框体的顶部固定连接有第一电机，所述设备框体内转动安装有转动柱，所述第一电机与转动柱传动连接，所述转动柱上固定连接有连接套环，所述连接套环的两侧均固定安装有伸缩套筒，两个伸缩套筒的一端均固定安装有夹箍，所述设备框体的一侧固定连接有第二电机，所述设备框体内转动安装有螺纹杆，所述螺纹杆的一端与第二电机的输出轴固定连接，所述螺纹杆上螺纹连接有两个内螺纹块，两个内螺纹块分别与两个夹箍相接触，所述设备框体的一侧移动安装有两个电动伸缩杆，两个所述电动伸缩杆的输出杆均贯穿对应的内螺纹块并延伸至对应的夹箍的内部。