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一种机械手
申请人信息
- 申请人:拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
- 申请人地址:110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
- 发明人: 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种机械手 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202322584663.X |
| 申请日 | 2023/9/22 |
| 公告号 | CN222106596U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/66 |
| 权利人 | 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 陈波; 周磊; 李丹; 许铁柱 |
| 地址 | 辽宁省沈阳市浑南区水家900号 |
摘要文本
本实用新型提供了一种机械手。所述机械手包括手本体及至少两个测温探头。所述手本体表面设置防静电涂层。所述至少两个测温探头被设于所述手本体的防静电涂层之上，并保持预设距离。所述预设距离是根据所述机械手放置的晶圆半径确定。本实用新型可以通过在机械手本体表面设置防静电涂层，提高机械手本体表面的导电性，减少静电的产生和积累，从而防止晶圆受到静电环境的影响，以提升晶圆的成膜质量。
专利主权项内容
1.一种机械手，其特征在于，包括：
手本体，其表面设置防静电涂层；以及至少两个测温探头，其中，所述至少两个测温探头被设于所述手本体的防静电涂层之上，并保持预设距离，所述预设距离是根据所述机械手放置的晶圆半径确定。