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一种晶圆键合电性能测试治具
申请人信息
- 申请人:无锡明祥电子有限公司
- 申请人地址:214183 江苏省无锡市惠山区经济开发区玉祁配套区祁北路北侧
- 发明人: 无锡明祥电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆键合电性能测试治具 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323467941.X |
| 申请日 | 2023/12/19 |
| 公告号 | CN222106604U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 无锡明祥电子有限公司 |
| 发明人 | 王子龙; 胡耀军 |
| 地址 | 江苏省无锡市惠山区经济开发区玉祁配套区祁北路北侧 |
摘要文本
本实用新型公开了一种晶圆键合电性能测试治具，包括测试治具本体，所述测试治具本体的上表面固定连接有底座，底座的顶部滑动连接有放置板，放置板的两侧外壁均滑动连接有限位架，限位架之间固定连接有两个连接架，所述放置板的内部开设有避位槽，避位槽内滑动连接有U型架，且U型架穿过连接架，所述U型架的两端均固定连接有固定块。本实用新型不仅能够使键合后的晶圆的位置得到调节，方便后续测试治具本体对其进行检测，提高了装置的定位效果，同时能够通过楔型块与转把的配合使用，使放置板的位置得到固定，提高了装置的固定效果，还能够通过辅助固定机构进一步使放置板的位置更加的稳定。 百度马 克 数据网
专利主权项内容
1.一种晶圆键合电性能测试治具，包括测试治具本体(1)，其特征在于，所述测试治具本体(1)的上表面固定连接有底座(3)，底座(3)的顶部滑动连接有放置板(13)，放置板(13)的两侧外壁均滑动连接有限位架(12)，限位架(12)之间固定连接有两个连接架(14)，所述放置板(13)的内部开设有避位槽(16)，避位槽(16)内滑动连接有U型架(8)，且U型架(8)穿过连接架(14)，所述U型架(8)的两端均固定连接有固定块(7)，所述底座(3)的两侧外壁均滑动连接有楔型块(6)，且固定块(7)与楔型块(6)相接触，所述底座(3)的内部转动连接有蜗杆(23)，蜗杆(23)的一端穿过底座(3)并固定连接有转把(4)，且转把(4)与楔型块(6)相接触，所述底座(3)的内部设有动力机构，所述底座(3)的两侧均设有辅助固定机构。