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一种氟化液清洗装置
申请人信息
- 申请人:海斯福(深圳)科技有限公司
- 申请人地址:518118 广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区昌业路9号新宙邦科技大厦606
- 发明人: 海斯福(深圳)科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种氟化液清洗装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323623863.8 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN222106607U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 海斯福(深圳)科技有限公司 |
| 发明人 | 曾一铮; 刘星; 武东波 |
| 地址 | 广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区昌业路9号新宙邦科技大厦606 |
摘要文本
本实用新型涉及一种氟化液清洗装置，属于清洗装置技术领域，机架，所述机架上安装有平行安装的两组横梁，所述横梁上至少固定安装有第一导轨，其中所述第一导轨上设置有第一支撑块，其中，在一侧的所述第一支撑块安装有第一电机固定块，所述第一电机固定块上安装有第一电机，所述第一电机的输出端与第一齿轮连接，且所述第一齿轮与第一齿条进行啮合传动，所述第一齿条固定安装在所述横梁的侧部；本实用新型通过设置若干夹取组件，从而能够一次性地清洗清洗面积较大的PCB板、晶圆等半导体零部件，能够进一步提高清洗的效率，将大件的半导体零部件进行灰尘、污垢等物质进行去除，避免因污垢、灰尘而导致对电子产品的性能受到影响。
专利主权项内容
1.一种氟化液清洗装置，其特征在于，包括：
机架，所述机架上安装有平行安装的两组横梁，所述横梁上至少固定安装有第一导轨，其中所述第一导轨上设置有第一支撑块，其中，在一侧的所述第一支撑块安装有第一电机固定块，所述第一电机固定块上安装有第一电机，所述第一电机的输出端与第一齿轮连接，且所述第一齿轮与第一齿条进行啮合传动，所述第一齿条固定安装在所述横梁的侧部；
所述第一支撑块一侧还安装有第一支撑条，所述第一支撑条的下方设置有两组第二支撑条，其中，每一组所述第二支撑条上均安装有第二导轨，所述第二导轨上安装第二支撑块，所述第二支撑块安装有若干夹取组件；
所述机架的内部至少依次设置有待清洗样品保存箱、氟化液储存箱、以及已清洗样品保存箱，通过所述夹取组件从所述待清洗样品保存箱中将样品夹取到氟化液储存箱中进行清洗，最后通过所述夹取组件将已清洗的样品放入已清洗样品保存箱中。