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一种深紫外LED行业蓝宝石外延片清洗装置
申请人信息
- 申请人:青岛旭芯互联科技研发有限公司; 东旭科技集团有限公司; 东旭集团有限公司
- 申请人地址:266555 山东省青岛市黄岛区(原开发区武夷山路437号户)
- 发明人: 青岛旭芯互联科技研发有限公司; 东旭科技集团有限公司; 东旭集团有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种深紫外LED行业蓝宝石外延片清洗装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420505112.1 |
| 申请日 | 2024/3/15 |
| 公告号 | CN222106615U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 青岛旭芯互联科技研发有限公司; 东旭科技集团有限公司; 东旭集团有限公司 |
| 发明人 | 刘磊; 贾钊; 窦志珍; 刘晓东 |
| 地址 | 山东省青岛市黄岛区(原开发区武夷山路437号户); 北京市丰台区四合庄路2号院4号楼1至17层101内11层1112; 河北省石家庄市高新区珠江大道369号 |
摘要文本
本实用新型涉及一种深紫外LED行业蓝宝石外延片清洗装置，结构包括依次连接设置的碱性清洗单元、第一纯水冲洗单元、酸洗清洗单元、第二纯水冲洗单元和甩干单元，所述碱性清洗单元的内部设置能够容放蓝宝石外延片的第一清洗篮，所述酸洗清洗单元的内部设置能够容放蓝宝石外延片的第二清洗篮；本实用新型所述清洗装置，先用碱性溶液对蓝宝石外延陪片表面的外延层进行清洗，完成后用纯水冲洗，再用酸性溶液对蓝宝石外延陪片表面的残留金属颗粒进行清洗，完成后再次用纯水冲洗，最后进行甩干处理，最终能够有效去除蓝宝石外延片表面的外延层和多余金属颗粒物，从而使得蓝宝石外延陪片的使用寿命大大延长，节省成本。
专利主权项内容
1.一种深紫外LED行业蓝宝石外延片清洗装置，其特征在于，结构包括依次连接设置的碱性清洗单元(1)、第一纯水冲洗单元(2)、酸洗清洗单元(3)、第二纯水冲洗单元(4)和甩干单元(5)；
所述碱性清洗单元(1)的内部设置能够容放蓝宝石外延片(6)的第一清洗篮(11)；
所述酸洗清洗单元(3)的内部设置能够容放蓝宝石外延片(6)的第二清洗篮(31)。