一种新型晶圆低耗氮清洗后旋干机

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本实用新型公开了晶圆加工技术领域的一种新型晶圆低耗氮清洗后旋干机，包括箱体，箱体的正面安装有箱门，箱体的内腔底部安装有支撑架，支撑架的内侧安装有驱动电机，驱动电机的输出轴安装有转动盘，转动盘的顶部设置有多个卡盘，箱体的顶部设置有烘干组件，箱体的内腔底部开设有多个均匀分布的透水孔，箱体的底部安装有收集箱，本实用新型通过支撑架、驱动电机以及转动盘的配合使用，能够带动多个卡盘旋转，进而实现对晶圆的批量甩干操作，通过热风机、输风管、出风管以及烘干喷头的配合使用，能够在晶圆甩干的同时对其进行烘干处理，使得晶圆的干燥效率较高，且晶圆的表面不容易存在有水渍残留，进而避免影响后续的加工。