一种三头立式硅片脱胶插片清洗一体机
申请人信息
- 申请人:天津创昱达光伏科技有限公司
- 申请人地址:301803 天津市宝坻区西环北路与唐通公路交口中关村科技城协同发展中心1号楼218-1室
- 发明人: 天津创昱达光伏科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种三头立式硅片脱胶插片清洗一体机 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420028029.X |
| 申请日 | 2024/1/5 |
| 公告号 | CN222106610U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 天津创昱达光伏科技有限公司 |
| 发明人 | 信广志 |
| 地址 | 天津市宝坻区西环北路与唐通公路交口中关村科技城协同发展中心1号楼218-1室 |
摘要文本
本实用新型公开了一种三头立式硅片脱胶插片清洗一体机，包括：脱胶机构、三头立式插片机、清洗机构、烘干机构、输出传送带、第二机械手机构、上料输送线、第三机械手机构、第四机械手机构、回流输送线、六轴机器人、清洗水重复利用机构。本实用新型的一体机极大的提高了硅片的生产效率。
专利主权项内容
1.一种三头立式硅片脱胶插片清洗一体机，其特征在于，包括：
脱胶机构，用于使盛装于料筐内的硅片与料座脱离；
三头立式插片机(1)，设置于所述脱胶机构的输出端，用于在三条作业线上分别将硅片分片并插入料篮(13)；
清洗机构(2)，设置于所述三头立式插片机(1)的输出端，所述清洗机构(2)包括沿远离所述三头立式插片机(1)的方向并排设置的若干清洗槽；
烘干机构(3)，设置于所述清洗机构(2)的输出端，所述烘干机构(3)包括沿远离所述清洗机构(2)的方向并排设置的若干烘干箱(31)；
输出传送带(4)，设置于所述烘干机构(3)的输出端；
第二机械手机构(5)，设置于所述脱胶机构至三头立式插片机(1)输入端的上方，用于转运盛装有硅片的料框；
上料输送线(6)，设置于所述三头立式插片机(1)与清洗机构(2)之间的一侧；所述上料输送线(6)的起始端设置有翻转机构(7)，用于将竖直的料篮(13)翻转至水平并放置到所述上料输送线(6)上；
第三机械手机构(8)，设置于所述上料输送线(6)输出端的上方与清洗机构(2)输入端的上方之间；
第四机械手机构，设置于所述清洗机构(2)、烘干机构(3)和输出传送带(4)的上方；
回流输送线(9)，设置于所述输出传送带(4)输出端的一侧至三头立式插片机(1)输出端的一侧，其末端设置有所述翻转机构(7)，用于将水平的料篮(13)翻转至竖直；
六轴机器人(10)，设置于所述回流输送线(9)的起始端，用于将空料篮(13)放置到所述回流输送线(9)上；
清洗水重复利用机构，与所述清洗机构(2)相连，用于将后序的清洗水重复利用到前序中。