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一种硅片清洗设备槽体结构

申请号: CN202420027934.3
申请人: 英利能源发展有限公司
申请日期: 2024/1/5

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种硅片清洗设备槽体结构
专利类型 实用新型
申请号 CN202420027934.3
申请日 2024/1/5
公告号 CN222106609U
公开日 2024/12/3
IPC主分类号 H01L21/67
权利人 英利能源发展有限公司
发明人 李献朋; 郎芳; 潘明翠; 尹丽丽; 郭晓杰; 薛敬伟; 于航; 王子谦; 王红芳; 马红娜; 史金超; 于波
地址 河北省保定市朝阳北大街3399号5号厂房227室

摘要文本

本实用新型属于太阳能电池技术领域,具体公开一种硅片清洗设备槽体结构,包括清洗槽本体,所述清洗槽本体的相对两侧面内分别固接有阳极电极片和阴极电极片,所述阳极电极片和阴极电极片分别导线连接至同一直流电源;位于所述阴极电极片下方的所述清洗槽本体上连接有曝气装置,所述曝气装置具有朝向所述阴极电极片一侧的开孔,所述曝气装置通过导管连接位于所述清洗槽本体外侧的供气装置。本实用新型将电化学氧还原技术引入生产中,减少过氧化氢用量,降低危险化学品的运输及储存的风险,同时可以降低清洗过程因添加剂使用带来的废水高COD问题。

专利主权项内容

1.一种硅片清洗设备槽体结构,包括清洗槽本体,其特征在于,所述清洗槽本体的相对两侧面内分别固接有阳极电极片(1)和阴极电极片(3),所述阳极电极片(1)和阴极电极片(3)分别导线连接至同一直流电源(2);位于所述阴极电极片(3)下方的所述清洗槽本体上连接有曝气装置(6),所述曝气装置(6)具有朝向所述阴极电极片(3)一侧的开孔,所述曝气装置(6)通过导管连接位于所述清洗槽本体外侧的供气装置(5)。