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一种花篮缓存机
申请人信息
- 申请人:广州蓝海机器人系统有限公司
- 申请人地址:510880 广东省广州市花都区瑞香路8号2单元102室
- 发明人: 广州蓝海机器人系统有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种花篮缓存机 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323589141.5 |
| 申请日 | 2023/12/27 |
| 公告号 | CN222106644U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 广州蓝海机器人系统有限公司 |
| 发明人 | 徐文斌; 冼志军; 尹军强; 庄均宝; 苏大乐; 徐镔滨 |
| 地址 | 广东省广州市花都区瑞香路8号2单元102室 |
摘要文本
本实用新型提供一种花篮缓存机，包括缓存仓和储存仓，所述缓存仓设置在储存仓的一端，在缓存仓和储存仓之间设有储存通道，所述缓存仓包括密封仓、密封装置和输送装置，所述输送装置设置在密封仓内，所述密封仓上设有仓门，在仓门上设有密封装置，所述输送装置的进料端连通仓门，输送装置的出料端连接储存通道；所述密封装置包括密封组件和密封门，所述密封门通过密封组件紧密连接在仓门上；通过设置密封仓，由此通过缓存仓内的输送装置将花篮输送至储存仓内后，进而通过密封组件驱动密封门将仓门进行密封，由此使得储存仓内为密封的空间，从而即可将氮气等能够保护硅片的气体充入密封仓内，由此能够更好保护硅片不容易损坏。
专利主权项内容
1.一种花篮缓存机，包括缓存仓和储存仓，其特征在于：所述缓存仓设置在储存仓的一端，在缓存仓和储存仓之间设有储存通道，所述缓存仓包括密封仓、密封装置和输送装置，所述输送装置设置在密封仓内，所述密封仓上设有仓门，在仓门上设有密封装置，所述输送装置的进料端连通仓门，输送装置的出料端连接储存通道；所述密封装置包括密封组件和密封门，所述密封门通过密封组件紧密连接在仓门上。