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一种硅片搬送手臂
申请人信息
- 申请人:麦斯克电子材料股份有限公司
- 申请人地址:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区
- 发明人: 麦斯克电子材料股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅片搬送手臂 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420070319.0 |
| 申请日 | 2024/1/11 |
| 公告号 | CN222106649U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 麦斯克电子材料股份有限公司 |
| 发明人 | 王海君; 乔光辉; 王军; 郭可; 时中洋 |
| 地址 | 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号北侧洛阳综合保税区 |
摘要文本
一种硅片搬送手臂，包括板状的手臂本体，手臂本体的背面开设有沿长度方向延伸的凹槽，凹槽的一端的底部开设有若干个沿手臂本体的厚度方向延伸的吸口，且所有吸口贯通手臂本体的正面，凹槽的另一端的连通有若干第一连接槽，所述手臂本体上设置有与手臂本体相匹配的柔性贴膜，柔性贴膜贴合在手臂本体上将凹槽以及第一连接槽封闭形成吸气通道，柔性贴膜上设置有与所述第一连接槽相应的抽气孔，使得本实用新型手臂本体使用时不易脱落、更换简单并且成本较低。
专利主权项内容
1.一种硅片搬送手臂，包括板状的手臂本体(1)，手臂本体(1)的背面开设有沿长度方向延伸的凹槽，凹槽的一端的底部开设有若干个沿手臂本体(1)的厚度方向延伸的吸口(305)，且所有吸口(305)贯通手臂本体(1)的正面，凹槽的另一端的连通有若干第一连接槽(304)，其特征在于：所述手臂本体(1)上设置有与手臂本体(1)相匹配的柔性贴膜(4)，柔性贴膜(4)贴合在手臂本体(1)上将凹槽以及第一连接槽(304)封闭形成吸气通道(3)，柔性贴膜(4)上设置有与所述第一连接槽(304)相应的抽气孔(403)。