一种晶圆盒FOUP下压机构
申请人信息
- 申请人:北京富创精密半导体有限公司
- 申请人地址:100176 北京市大兴区经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼三层201-3
- 发明人: 北京富创精密半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆盒FOUP下压机构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421123777.2 |
| 申请日 | 2024/5/22 |
| 公告号 | CN222106654U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 北京富创精密半导体有限公司 |
| 发明人 | 房吉晨 |
| 地址 | 北京市大兴区经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼三层201-3 |
摘要文本
本实用新型涉及晶圆防护输送技术领域，具体是一种晶圆盒FOUP下压机构，包括底座、压杆、肋、压块支架、压块、止动轮支架、止动轮和弹簧，所述底座固定在所述FOUP承载机构上，所述压杆的底部铰接在底座上，所述压杆的顶部与所述肋的下端固定连接，所述肋的上端与所述压块支架的一端固定连接，在所述压块支架的另一端的下面固定连接有压块，在所述底座和所述压杆设置有弹簧，所述止动轮支架固定在晶圆盒FOUP转运小车上，所述止动轮可转动地安装在所述止动轮支架的端部，所述止动轮支架固定在所述晶圆盒FOUP转运小车上。该机构可防止由于推动转运小车产生的震动导致晶圆盒FOUP倾斜或者跌落的情况产生。
专利主权项内容
1.一种晶圆盒FOUP下压机构，设置在晶圆盒FOUP转运小车的FOUP承载机构(2)上，所述FOUP承载机构(2)可水平方向直线移动，其特征在于，包括底座(41)、压杆(43)、肋(44)、压块支架(45)、压块(46)、止动轮支架(47)、止动轮(48)和弹簧(49)，所述底座(41)固定在所述FOUP承载机构(2)上，所述压杆(43)的底部铰接在底座(41)上，所述压杆(43)的顶部与所述肋(44)的下端固定连接，所述肋(44)的上端与所述压块支架(45)的一端固定连接，在所述压块支架(45)的另一端的下面固定连接有压块(46)，在所述底座(41)和所述压杆(43)设置有弹簧(49)，所述止动轮支架(47)固定在晶圆盒FOUP转运小车上，所述止动轮(48)可转动地安装在所述止动轮支架(47)的端部，所述止动轮支架(47)固定在所述晶圆盒FOUP转运小车上；
当所述止动轮(48)贴靠所述压杆(43)时，所述压块支架(45)在水平位置，当所述止动轮(48)远离所述压杆(43)时，所述压块支架(45)与水平位置呈倾斜状态。