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一种晶圆晶向检测定位装置
申请人信息
- 申请人:宁波合盛新材料有限公司
- 申请人地址:315300 浙江省宁波市慈溪市周巷镇周西公路1999-9号
- 发明人: 宁波合盛新材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆晶向检测定位装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202422532199.4 |
| 申请日 | 2024/10/21 |
| 公告号 | CN222106664U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 宁波合盛新材料有限公司 |
| 发明人 | 葛泰杭; 浩瀚; 赵新田 |
| 地址 | 浙江省宁波市慈溪市周巷镇周西公路1999-9号 |
摘要文本
本申请公开了一种晶圆晶向检测定位装置，包括：底座部和连接于底座部上的限位部，限位部中部镂空以形成用于放置待测晶圆的安装腔，安装腔的内侧壁与底座部的底面共同对待测晶圆进行限位，底座部在与安装腔相对的区域之内具有用于推出晶圆的通孔，安装腔内壁设有Notch槽定位部，Notch槽定位部适于插入待测晶圆的Notch槽中。本申请的定位装置有利于保护和固定待测晶圆，检测过程中可有效防止晶圆边缘的崩坏，防止晶圆位置偏移，此外，该定位装置还能够支持晶圆旋转，实现多方位测量，从而进一步提高晶圆晶向数值的准确性。。该数据由<>整理
专利主权项内容
1.一种晶圆晶向检测定位装置，其特征在于，包括：底座部和连接于所述底座部上的限位部，所述限位部中部镂空以形成用于放置待测晶圆的安装腔，所述安装腔的内侧壁与所述底座部的底面共同对待测晶圆进行限位，所述底座部在与所述安装腔相对的区域之内具有用于推出晶圆的通孔，所述安装腔内壁设有Notch槽定位部，所述Notch槽定位部适于插入待测晶圆的Notch槽中。