用于镀膜设备的顶部灯管加热器及镀膜设备

摘要文本

理想晶延半导体设备(上海)股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种用于侧壁钝化镀膜设备的顶部灯管加热器，包括：环形的加热器主体，用于进行导电，加热器主体具有上侧、下侧、环状外侧、环状内侧、两个条状外侧；设于加热器主体上侧的电极，用于为顶部灯管加热器供电；设于加热器主体的环状外侧的绝缘环，用于进行绝缘；设于加热器主体的下侧以及环状外侧的呈扇形排布的多根灯管，用于放出热量进行加热；设于加热器主体的条状外侧的侧反射板以及设于加热器主体的下侧的下反射板，用于反射热量；设于加热器主体的下侧的隔离件，用于防止灯管被镀膜，与隔离件相比，下反射板更靠近加热器主体的环状外侧。根据本实用新型所提供的顶部灯管加热器，设置简单工艺方便，降低了加热成本且提高了生产效率。