反应腔的红外测温仪的安装结构及沉积设备

专利主权项内容

1.反应腔的红外测温仪的安装结构，反应腔包括顶板(100)和设于所述顶板(100)内的顶部盖板(200)，红外测温仪(300)设于所述顶板(100)上，用于检测所述顶部盖板(200)的温度，其特征在于，所述安装结构包括：
安装底座(1)，所述顶板(100)上设置有安装孔(1011)，所述安装底座(1)密封连接于所述安装孔(1011)，所述安装底座(1)内设有与所述安装孔(1011)同轴设置的第一安装腔(11)，所述红外测温仪(300)设于所述第一安装腔(11)内，所述红外测温仪(300)和所述第一安装腔(11)之间设有密封组件(3)；
固定压紧件(2)，所述固定压紧件(2)的一端与所述密封组件(3)抵接，另一端与所述第一安装腔(11)螺纹连接，旋拧所述固定压紧件(2)能通过所述密封组件(3)将所述红外测温仪(300)固定于所述第一安装腔(11)内。