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用于晶圆搬运的机械臂
申请人信息
- 申请人:无锡富创得智能科技有限公司
- 申请人地址:214028 江苏省无锡市新吴区梅村街道梅育路100号7幢一楼东侧
- 发明人: 无锡富创得智能科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于晶圆搬运的机械臂 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420599468.6 |
| 申请日 | 2024/3/26 |
| 公告号 | CN222096148U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | B25J15/00 |
| 权利人 | 无锡富创得智能科技有限公司 |
| 发明人 | 包蕊; 周锐; 董彬; 杨兵 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区梅村街道梅育路100号7幢一楼东侧 |
摘要文本
无锡富创得智能科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供了一种用于晶圆搬运的机械臂，包括伸缩臂以及通过第一转动组件独立转动设置于伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；其中，第一夹爪的实体线通过第一转动组件上的第一走线通道进入伸缩臂内部，第二夹爪的电信号通过导电滑环传输至伸缩臂内部，气管通过第一转动组件上的气路进入伸缩臂内部，从而避免了第一夹爪和第二夹爪的实体线之间的干扰，以及第二夹爪转动过程中对实体线造成扭转的影响；保证了机械臂的第一夹爪和第二夹爪可以稳定和灵活的自由转动，提高了机械臂的灵活性和可靠性。本申请能够在实现大范围的晶圆搬运的同时，可以在一次动作中完成对不同工位的两块晶圆的搬运和取放。
专利主权项内容
1.一种用于晶圆搬运的机械臂，其特征在于，包括伸缩臂以及转动设置于所述伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；
所述第一夹爪和所述第二夹爪通过第一传动组件转动设置于所述伸缩臂末端；
所述第一传动组件包括相互套设并转动配合的第一传动轴和第二传动轴，且所述第一传动轴和所述第二传动轴分别与所述第一夹爪和所述第二夹爪固定配合，使得所述第一夹爪和所述第二夹爪具有同一旋转轴且可独立转动；
所述第一传动轴内部设置有沿所述第一传动轴的轴线贯通的第一走线通道，所述第一夹爪内的实体线通过所述第一走线通道进入所述伸缩臂内部；
所述第二传动轴与所述第二夹爪之间设置有导电滑环，所述导电滑环包括滑动配合的上板和下板，所述上板设置与所述第二夹爪内部，所述下板设置于所述第二传动轴的外壁并位于所述伸缩臂内部；
所述第二传动轴还设置有连通所述第二夹爪内部和所述伸缩臂内部的气路。