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用于晶圆搬运的机械臂
申请人信息
- 申请人:无锡富创得智能科技有限公司
- 申请人地址:214028 江苏省无锡市新吴区梅村街道梅育路100号7幢一楼东侧
- 发明人: 无锡富创得智能科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于晶圆搬运的机械臂 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420606423.7 |
| 申请日 | 2024/3/26 |
| 公告号 | CN222096149U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | B25J15/00 |
| 权利人 | 无锡富创得智能科技有限公司 |
| 发明人 | 周锐; 董彬; 查光耀; 包蕊 |
| 地址 | 江苏省无锡市新吴区梅村街道梅育路100号7幢一楼东侧 |
摘要文本
无锡富创得智能科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术， 本申请提供了一种用于晶圆搬运的机械臂，包括伸缩臂以及可独立转动设置于伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪，第一传动组件包括转动配合的第一传动轴和第二传动轴；围绕第一传动组件设置有转动限位件，以限制第一传动轴与第二传动轴之间的转动角度；转动限位件朝向第一传动组件设置有第一限位槽和第二限位槽；第一限位槽和第二限位槽分别内滑动设置有第一限位块和第二限位块，第一传动轴和第二传动轴设置有与第一限位块和第二限位块对应的第一凸块和第二凸块。本申请的转动限位件可以实现对第一夹爪和第二夹爪转动角度的限制；同时转动限位件的可靠性高、使用寿命长、稳定性好，提高了机械臂工作过程的可靠性和稳定性。
专利主权项内容
1.一种用于晶圆搬运的机械臂，其特征在于，包括伸缩臂以及转动设置于所述伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；
所述第一夹爪和所述第二夹爪通过第一传动组件转动设置于所述伸缩臂末端；
所述第一传动组件包括相互套设并转动配合的第一传动轴和第二传动轴，且所述第一传动轴和所述第二传动轴分别与所述第一夹爪和所述第二夹爪固定配合，使得所述第一夹爪和所述第二夹爪具有同一旋转轴且可独立转动；
围绕所述第一传动组件设置有转动限位件，以限制所述第一传动轴与所述第二传动轴之间的转动角度；
所述转动限位件朝向所述第一传动组件设置有第一限位槽和第二限位槽；
所述第一限位槽内滑动设置有第一限位块，所述第二限位槽内滑动设置有第二限位块，且所述第一限位块和所述第二限位块在转动方向上错开；
所述第一传动轴设置有与所述第一限位块对应且位于同一转动平面的第一凸块，所述第二传动轴设置有与所述第二限位块对应且位于同一转动平面的第二凸块。