本发明的实施例总体上涉及MEMS器件。
一种微机电系统(MEMS)器件包括布置在基底之上的柔性膜和布置在柔性膜之上的第一背板。
第一背板包括面向柔性膜的第一多个凸出部。
MEMS器件还包括布置在柔性膜处的多个特征，其中多个特征中的每个特征与第一多个凸出部中对应的一个凸出部相关联。

A·沃瑟 S·巴曾 W·克莱因 J·斯特拉塞

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德国诺伊比贝尔格

本发明的实施例总体上涉及MEMS器件。
一种微机电系统(MEMS)器件包括布置在基底之上的柔性膜和布置在柔性膜之上的第一背板。
第一背板包括面向柔性膜的第一多个凸出部。
MEMS器件还包括布置在柔性膜处的多个特征，其中多个特征中的每个特征与第一多个凸出部中对应的一个凸出部相关联。