本实用新型涉及压力传感器技术领域，且公开了一种MEMS压力传感器充油芯体，包括上盖、底座和敏感组件；所述上盖的下端与底座密封连接，所述底座和上盖构成密封腔体，所述密封腔体内填充有检测介质；所述底座上且位于密封腔体内设有敏感组件。
该MEMS压力传感器充油芯体，采用硅弹性膜片和半导体电阻与信号标定模块组成的芯片，外部无需设置信号处理电路，引线互连少、结构简单、成本低、产品可靠性高，便于生产，并且半导体电阻和信号标定模块位于不同的平面，并且信号标定模块位于硅弹性膜片的四周，避免硅弹性膜片的应力变化影响到信号标定模块，导致信号标定模块中的线路受损的风险，有利于保证精度。

王小平 曹万 李凡亮 王红明 施涛 吴登峰 李兵

武汉飞恩微电子有限公司

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本实用新型涉及压力传感器技术领域，且公开了一种MEMS压力传感器充油芯体，包括上盖、底座和敏感组件；所述上盖的下端与底座密封连接，所述底座和上盖构成密封腔体，所述密封腔体内填充有检测介质；所述底座上且位于密封腔体内设有敏感组件。
该MEMS压力传感器充油芯体，采用硅弹性膜片和半导体电阻与信号标定模块组成的芯片，外部无需设置信号处理电路，引线互连少、结构简单、成本低、产品可靠性高，便于生产，并且半导体电阻和信号标定模块位于不同的平面，并且信号标定模块位于硅弹性膜片的四周，避免硅弹性膜片的应力变化影响到信号标定模块，导致信号标定模块中的线路受损的风险，有利于保证精度。