本发明涉及一种MEMS器件及其形成方法，所述MEMS器件包括检验质量块、设为四组并分别设置于所述检验质量块的四侧的感测梳，以及设为四组并一一对应设置于四个所述感测梳远离所述检验质量块的一侧的驱动梳，通过在检验质量块的四侧设置感测梳，并在四个所述感测梳远离所述检验质量块的一侧一一对应设置四组驱动梳，使得所述MEMS器件单个器件既能够感应旋转，也能够感应加速度，实现相关技术中至少两个MEMS传感器才能达到的等效功能，从而降低生产成本。

李森科·伊戈尔·叶夫根耶维奇 徐宝 徐元 吴刚

杭州麦新敏微科技有限责任公司

310000 浙江省杭州市滨江区浦沿街道六和路368号一幢(北)三楼D3283室

本发明涉及一种MEMS器件及其形成方法，所述MEMS器件包括检验质量块、设为四组并分别设置于所述检验质量块的四侧的感测梳，以及设为四组并一一对应设置于四个所述感测梳远离所述检验质量块的一侧的驱动梳，通过在检验质量块的四侧设置感测梳，并在四个所述感测梳远离所述检验质量块的一侧一一对应设置四组驱动梳，使得所述MEMS器件单个器件既能够感应旋转，也能够感应加速度，实现相关技术中至少两个MEMS传感器才能达到的等效功能，从而降低生产成本。