本发明涉及一种三维氮化镓基呼出式气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域；本发明在蓝宝石衬底上外延二维非故意掺杂和n型GaN薄膜，再制备Ni/SiO

韩丹 刘青明 桑胜波 冀健龙 张强 李强 张文栋

太原理工大学

030024 山西省太原市迎泽西大街79号

本发明涉及一种三维氮化镓基呼出式气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域；本发明在蓝宝石衬底上外延二维非故意掺杂和n型GaN薄膜，再制备Ni/SiO