本申请提供一种微机电系统三轴加速度传感器芯片和制作方法，其中芯片包括：第一轴加速度传感器单元，用于感应第一轴方向的加速度；第二轴加速度传感器单元感应，用于第二轴方向的加速度；和第三轴加速度传感器单元，用于感应第三轴方向的加速度；第一轴加速度传感器单元和第二轴加速度传感器单元层叠布置；第三轴加速度传感器单元包括第四加速度传感器子单元和第五加速度传感器子单元，第四加速度传感器子单元设置于第一轴加速度传感器单元的一侧，第五加速度传感器子单元设置于第二轴加速度传感器单元的一侧，第四加速度传感器子单元与第五加速度传感器子单元为不对称结构。
第一、第二和第三轴加速度传感器单元密封在同一个密封腔内。

华亚平 苏佳乐

安徽芯动联科微系统股份有限公司

233042 安徽省蚌埠市财院路10号

本申请提供一种微机电系统三轴加速度传感器芯片和制作方法，其中芯片包括：第一轴加速度传感器单元，用于感应第一轴方向的加速度；第二轴加速度传感器单元感应，用于第二轴方向的加速度；和第三轴加速度传感器单元，用于感应第三轴方向的加速度；第一轴加速度传感器单元和第二轴加速度传感器单元层叠布置；第三轴加速度传感器单元包括第四加速度传感器子单元和第五加速度传感器子单元，第四加速度传感器子单元设置于第一轴加速度传感器单元的一侧，第五加速度传感器子单元设置于第二轴加速度传感器单元的一侧，第四加速度传感器子单元与第五加速度传感器子单元为不对称结构。
第一、第二和第三轴加速度传感器单元密封在同一个密封腔内。