本发明提供一种压力传感器、基板结构及其制造方法，该用于压力传感器的基板结构包括基板，所述基板贯设有压力孔，所述压力孔包括沿第一方向布置的直孔和锥孔，所述锥孔自所述直孔的孔缘延伸形成，且所述锥孔的孔径沿第一方向呈渐宽设置。

王小平 曹万 杨军 洪鹏

武汉飞恩微电子有限公司

430000 湖北省武汉市东湖开发区高新大道818号医疗器械园B12栋3楼

本发明提供一种压力传感器、基板结构及其制造方法，该用于压力传感器的基板结构包括基板，所述基板贯设有压力孔，所述压力孔包括沿第一方向布置的直孔和锥孔，所述锥孔自所述直孔的孔缘延伸形成，且所述锥孔的孔径沿第一方向呈渐宽设置。