一种热电堆传感器的制作方法，包括：提供热电堆结构板和基板，热电堆结构板形成有热电堆结构；在热电堆结构板上形成第一互连层，第一互连层中至少形成有电连接热电堆结构的第一导电互连结构；在所述基板上形成支撑结构，所述支撑结构中形成有牺牲结构，所述支撑结构的顶面露出所述牺牲结构；将所述热电堆结构板键合在所述支撑结构上，使所述第一互连层位于所述热电堆结构的下方，且在键合后，所述热电堆结构设置在所述牺牲结构的上方；在键合后，去除牺牲结构，形成第一空腔。
本发明在简化工艺流程、降低工艺成本的同时，提高热电堆传感器的测量精度。

黄河

中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司

201210 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309

一种热电堆传感器的制作方法，包括：提供热电堆结构板和基板，热电堆结构板形成有热电堆结构；在热电堆结构板上形成第一互连层，第一互连层中至少形成有电连接热电堆结构的第一导电互连结构；在所述基板上形成支撑结构，所述支撑结构中形成有牺牲结构，所述支撑结构的顶面露出所述牺牲结构；将所述热电堆结构板键合在所述支撑结构上，使所述第一互连层位于所述热电堆结构的下方，且在键合后，所述热电堆结构设置在所述牺牲结构的上方；在键合后，去除牺牲结构，形成第一空腔。
本发明在简化工艺流程、降低工艺成本的同时，提高热电堆传感器的测量精度。