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专利摘要

本发明总体上涉及一种用于使MEMS开关的锚更加稳健以用于电流处理的机构。

专利状态

基础信息

专利号
CN201680066443.8
申请日
2016-11-14
公开日
2018-07-31
公开号
CN108352276A
主分类号
/B/B81/ 作业;运输
标准类别
微观结构技术
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩 理查德·L·奈普

申请人

卡文迪什动力有限公司

申请人地址

美国加利福尼亚州

专利摘要

本发明总体上涉及一种用于使MEMS开关的锚更加稳健以用于电流处理的机构。

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