专利摘要
本发明总体上涉及一种用于使MEMS开关的锚更加稳健以用于电流处理的机构。
专利状态
基础信息
- 专利号
- CN201680066443.8
- 申请日
- 2016-11-14
- 公开日
- 2018-07-31
- 公开号
- CN108352276A
- 主分类号
- /B/B81/ 作业;运输
- 标准类别
- 微观结构技术
- 批准发布部门
- 国家知识产权局
- 专利状态
- 审查中-实审
发明人
罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩 理查德·L·奈普
申请人
卡文迪什动力有限公司
申请人地址
美国加利福尼亚州
专利摘要
本发明总体上涉及一种用于使MEMS开关的锚更加稳健以用于电流处理的机构。
相似专利技术