本实用新型实施例公开了一种MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表，该MEMS气体流量检测芯片包括：基底；流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面。
本实用新型实施例提供的技术方案，实现了通过单颗芯片完成流量以及多种环境参数的测量。

肖素艳

苏州敏芯微电子技术股份有限公司

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本实用新型实施例公开了一种MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表，该MEMS气体流量检测芯片包括：基底；流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面。
本实用新型实施例提供的技术方案，实现了通过单颗芯片完成流量以及多种环境参数的测量。