微热板在对硅基板的腔进行架设的支持层上设置有电极和加热器。电极包围加热器,且加热器被配置于电极的内侧。微热板的功率效率提高。
多田罗佳孝 本多祐仁 永井宏明 芦原义树 井泽邦之 佐井正和 吉冈谦一
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