使用弹簧式波纹状物或蛇形锯齿状物将微机电系统（MEMS）压力感测元件悬挂在空腔内，这减小了所述感测元件上的热失配机械应力。
用凝胶覆盖弹簧式结构和感测元件进一步减小了热失配应力和振动动态应力。

S-H.S.陈 J-H.A.邱 R.C.科斯伯格 D.R.恩彭

大陆汽车系统公司

美国密执安州

使用弹簧式波纹状物或蛇形锯齿状物将微机电系统（MEMS）压力感测元件悬挂在空腔内，这减小了所述感测元件上的热失配机械应力。
用凝胶覆盖弹簧式结构和感测元件进一步减小了热失配应力和振动动态应力。