本实用新型涉及一种宽响应频带质点振速传感器,包括敏感元件,其特征在于,所述敏感元件(2)包括:衬底(21),其上形成一桥孔(211);和若干敏感丝(20),平行置于所述桥孔(211)上;所述敏感丝(20)由上至下依次包括敏感材料层(206)和支撑层(205),所述敏感材料层(206)为中空结构。
本实用新型采用中空结构的敏感丝,降低敏感丝的等效密度,从而降低敏感丝的热质量,提升结构热交换速率,从而有效提升了传感器的响应频率上限,扩展了传感器的响应频带,且能够不失真地对宽频声音信号的质点振速进行探测。
谢奕 刘云飞 周瑜 冯杰
中国电子科技集团公司第三研究所
100015 北京市朝阳区酒仙桥北路乙7号
本实用新型涉及一种宽响应频带质点振速传感器,包括敏感元件,其特征在于,所述敏感元件(2)包括:衬底(21),其上形成一桥孔(211);和若干敏感丝(20),平行置于所述桥孔(211)上;所述敏感丝(20)由上至下依次包括敏感材料层(206)和支撑层(205),所述敏感材料层(206)为中空结构。
本实用新型采用中空结构的敏感丝,降低敏感丝的等效密度,从而降低敏感丝的热质量,提升结构热交换速率,从而有效提升了传感器的响应频率上限,扩展了传感器的响应频带,且能够不失真地对宽频声音信号的质点振速进行探测。